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设备与工具PALET无掩膜光刻机是日本Neoark公司生产一款基于DLP空间光调制技术的高性价比光刻系统。不同于传统的光刻机，该系统利用DMD代替传统的掩膜，增加灵活性的同时大大降低了时间和成本。
该设备采用365nm的紫外LED作为光源，可以适用于SU-8、AZ-P1350等众多的光刻胶，并且LED相对于汞灯和激光拥有更好的光源稳定性和均匀性，使用寿命可达10000小时。采用DMD作为数字掩膜，增加了设备的灵活性，可以根据自己的需求灵活设计和改变掩膜图形，采用10倍物镜时，光刻线宽可达到3微米，单次曝光面积可达到1X0.6mm，并在1s内完成曝光。若采用2倍物镜单次曝光面积可达5X3mm，并可以获得较高的深宽比，使用SU-8光刻胶时可获得深度超过100μm的陡直结构。
此外该设备可配备六维电动位移平台，实现半自动聚焦，自动校正晶圆的位置，并且可实现曝光拼接，曝光面积可到25X25mm，拼接精度为0.5μm。可实现套刻功能。
设备软件界面友好易操作，除了支持CAD文件外，还支持多种不同的图片格式例如：Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。
主要参数
应用示例
上海昊量光电设备有限公司
Aunion Tech Co., Ltd
专业源自专注 专注成就未来
上海昊量光电设备有限公司是目前国内知名光电产品专业代理商，也是近年来发展迅速的光电代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外，还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等工作。不但为客户提供适合的产品，而且为客户提供完善的服务是我们始终秉承的理念！
自2008年成立以来，昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销，致力于引进国外很具先进性与创新性的光电技术与可靠产品，为国内前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务，助力中国智造与中国创造! 目前，昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。
昊量光电坚持“专业源自专注，专注成就未来”的经营理念。近年来，我们专注于前沿的细分市场，为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等领域的客户提供系统解决方案。
秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！
立足于光电产业，昊量光电始终坚持价值创造与创新，赢得客户与合作伙伴的认可，不断拓展业务领域的新边疆，立志打造国际一流的代理服务品牌！
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